净化车间装修对温湿度的控制【东鑫净化】
净化车间装修的温湿度主要根据工艺要求确定，但在满足工艺要求的条件下，要考虑人的舒适性。随着空气清洁度要求的提高，对温度和湿度的要求越来越严格。
净化车间装修湿度高会导致更多的问题。当相对湿度超过55%时，冷却水管壁暴露。如果它发生在精密设备或电路中，就会引起各种事故。相对湿度往往在50%生锈。此外，当湿度很高时，附着在硅片表面的灰尘会被空气中的水分子化学地附着在表面，这是很难去除的。相对湿度、粘结力越高，则越难去除，但当相对湿度低于30%时，又由于静电颗粒对表面吸附的影响，还容易对大量半导体器件产生击穿。硅片生产的最佳温度范围是35 - 45%。
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